展品类别：分子泵系列 

展品特点：

(1) 一体控制:控制器一体化设计，便于系统集成，可以一键启停;

(2) 精密轴承:脂润滑精密陶瓷球轴承，可任意角度安装;

(3)产品可靠:涡轮转子一体成型，无位置传感器高速电机驱动;

(4)功能多样:配件齐全，可提供客户定制方案;(5)提供转速可调功能，满足客户一款泵多种抽速的需求;本系列产品主要适用PVD、CVD、液晶平板等工业镀膜;质谐分析、高能物理、真空检漏医药与生物工程等科学研究等多个领域。

典型应用产品：本系列产品主要适用PVD、CVD、液晶平板等工业镀膜;质谐分析、高能物理、真空检漏医药与生物工程等科学研究等多个领域。

展品类别：真空测量系列 

展品特点：

·超高纯全焊接结构绝对真空压力开关

·完全密封,零参考真空,二次密封隔围

·按用户参数要求,工厂设定

·电子柬焊接结构，10046氨气检澜测试

·电子束悍接零参考真空

·顾片与本体电子柬完全焊接,高可性及长寿命保证

·负像压盘片式(贝氏)弹箭以保证更加优异的重复特性及抗需动/颤动特性

·安装位置无关

·高可重复性开关信号,广泛应用于报警,关断及系统联动装置控制

典型应用产品：

转移仓(Load Lock)应用,确保在转移建片时压力已经平衡。

半导体生产应用,作为电子装置流量及压力的保护装置。

气体监控面板应用,监控多种气体系统,压力开关输出高低压报警信号。

展品类别：分子泵系列

展品特点：

·MTP系列磁悬浮复合分子泵采用一体式控制器,具有高抽速、高稳定性、耐腐蚀、易安装等优点,被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体工艺制程。

典型应用产品：

刻蚀、薄膜沉积、离子注入、CVD

展品类别：真空测量系列

展品特点：

·获得国家02专项支持:突破技术难题,解决卡脖子的产品

·抗温漂、高温稳定性与抗沉积结构设计:抗沉积流道、结构与磁设计,降低膜片损伤,提高耐久性

·核心部件精确控制与微小信号高精度测量:高强度、低蠕变、恒弹性合金膜片,极微弱信号探测电路

典型应用产品：

可依照客户需求,实现产品工作温度、接口类型、通讯协议、继电器触发等特殊功能的定制

展品类别：阀门系列

展品特点：

·采用气路分配装置简化内部结构,结构更加紧凑;

·采用两组气缸分别控制，L形动作降低颗粒物产生；

·阀门内部运动件增加减振设计，动作平稳,振动值较低；

·动密封采用波纹管密封,其它密封件为氟橡胶或全氟橡胶，密封可靠;

·阀板采用硫化胶圈,减少密封时的颗粒物产生,密封更加可靠;

·气路分配装置增加断气压力保持功能，使得断气后仍能保持在开启和关闭位置(关闭时保证密封效果);

·气源压力和单独调节大小,输出的密封力大小可调；

典型应用产品：

光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备与离子注入机